合光光掩模申请光掩模图形的检验方法专利，降低缺陷误报率
创始人
2026-06-15 09:33:45
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国家知识产权局信息显示，合光光掩模科技（安徽）有限公司申请一项名为“光掩模图形的检验方法”的专利，公开号CN122194563A，申请日期为2026年4月。
专利摘要显示，本公开提供一种光掩模图形的检验方法。检验方法包括：将光掩模的设计图像中的图形转换为边沿与水平方向或竖直方向平行的图形，形成基准图像；将光掩模的实际拍摄图像中的图形转换为边沿与水平方向或竖直方向平行的图形，形成待检验图像；根据基准图像和待检验图像的比对结果，确定光掩模的缺陷。本公开可以消除设计图像和实际拍摄图像中因边沿与水平方向和竖直方向均不平行产生的不规则形态，有效避免因图形边沿不规则而被误判为缺陷，从而降低缺陷误报率，提高光掩模图形的检验精度。
天眼查资料显示，合光光掩模科技（安徽）有限公司，成立于2023年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本190995.68万人民币。通过天眼查大数据分析，合光光掩模科技（安徽）有限公司参与招投标项目147次，财产线索方面有商标信息21条，专利信息31条，此外企业还拥有行政许可19个。
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来源：市场资讯
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