奥路丝科技申请套刻测量装置焦点控制方法专利，提高套刻测量精度
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2026-05-13 23:10:48
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国家知识产权局信息显示，奥路丝科技有限公司申请一项名为“套刻测量装置、用于工具诱导位移测量的套刻测量装置的焦点控制方法及用于工具诱导位移测量的套刻测量装置的焦点控制程序”的专利，公开号CN122029487A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明提供一种套刻测量装置的焦点控制方法，该套刻测量装置用于工具诱导位移测量，所述套刻测量装置的焦点控制方法包括：按未旋转状态的基准晶圆的基准场的每个点位获取作为在对焦于相应点位时来自自动对焦装置的信号的第一信号的步骤；在将所述基准晶圆旋转180度后，按所述基准场的每个所述点位获取作为在对焦于相应点位时来自所述自动对焦装置的信号的第二信号的步骤；将所述第一信号及所述第二信号与相应点位进行匹配并存储的步骤；使测量对象晶圆的测量对象点位位于所述套刻测量装置的视野内的步骤；以及当所述测量对象晶圆处于未旋转状态时，根据与所述测量对象点位匹配的所述第一信号进行对焦，当所述测量对象晶圆处于180度旋转状态时，根据与所述测量对象点位匹配的所述第二信号进行对焦的步骤。
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来源：市场资讯
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